质量体系
● s和p偏振的干涉测量（内部Zygo偏振器选件）。用于偏振敏感光学器件，例如激光晶体、波片和偏振器
● 最大通光孔径达101.6毫米
● Zygo透射/参考平板（<λ/20 @ 632.8 nm）用于表面平整度（PV/功率/不规则性/RMS）、波前畸变和平行度测量
● Zygo f/0.75、f/1.5、f/3.3、f/10.7透射/参考球面
（<λ/20 @ 632.8 nm）和"Renishaw"导轨（1500 mm）用于半径测量，以测试球面的形状不规则性、波前畸变和曲率半径，半径为±4 nm – ±800 mm
● 白光干涉显微镜：通过非接触式3D相干扫描干涉测量法（CSI）测量光学或无光泽表面的形貌。
● 10X Mirau物镜，数值孔径为7.4，总视野为0.87×0.87毫米
● 具有拼接功能的平面、球面和圆柱表面的粗糙度测量
● 表面形貌重复性≤0.15 nm，RMS重复性为0.01 nm
● 能够进行亚埃级（<1 Å）高精度光学表面测量
● 能够测量高达100×100毫米、高度为90毫米的零件
● 专为光学样品测量而设计
● 光谱范围在185 nm – 3500 nm之间
● 偏振测量范围在220 nm – 3500 nm之间
● 透射率：T、Ts、Tp，角度为0° – 75°
● 绝对反射率：R、Rs、Rp，角度为8° – 75°
● 可选测量偏振分束器立方体（Rs+Tp）
● 用于测试棱镜、多边形、楔形、偏转、屋顶角
● 气浮旋转台。精度优于0.6角秒
● 最小样品表面（未镀膜玻璃）– 0.5 mm²
● 最大样品直径210 mm
● 根据MIL-PRF-13830B、ISO 10110-7、ISO 14997:2011或客户的其他严格要求进行目视检查方法
●目视检查工作场所设备：
奥林巴斯SZX7立体显微镜 – 配有CCD相机，用于照片和尺寸测量，放大倍数为0.6-11.2X
高功率光源（MLC-150C，Motic）
标准照明 – 120 000 Lx
水平层流柜
奥林巴斯BX51TRF、尼康C-PSN分析显微镜
认证的耐磨性和附着力测试套件（CAT.S12900）
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